本发明公开了一种超高真空系统及其可控温真空方法，包括底板，所述底板的顶部设置有真空腔，所述真空腔的顶部和底部均固定连接有圆板，所述底板的顶部且与位于真空腔的前后侧设置有夹紧加固机构；所述夹紧加固机构中包括开设在底板顶部的滑槽，所述滑槽内壁的前后侧之间转动连接有双向丝杆，本发明涉及超高真空系统技术领域。该超高真空系统及其可控温真空方法，通过夹紧加固机构的设置，实现了对真空腔的快速夹紧固定，避免了抽真空时真空腔震动过大出现移动的情况，提升了抽真空的效率，另外通过两个弧形夹板的设置，实现了隔热保护的作用，避免了工作人员不小心接触加热时的真空腔造成烫伤，增强可安全性。