一种阴极电弧蒸发制备低残余应力、长切削寿命涂层的制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及物理气相沉积涂层及其制备方法技术领域，且公开了一种阴极电弧蒸发制备低残余应力、长切削寿命涂层的制备方法，包括以下步骤：步骤一、将基体进行机械研磨、抛光、清洗处理；步骤二、使用阴极电弧蒸发电源，于基体前电弧蒸发金属靶材，采用加载高低交替变化偏压或通入N2分压高低交替变化的气氛的方法，沉积制备氮化物涂层。
基本信息
专利标题 ：
一种阴极电弧蒸发制备低残余应力、长切削寿命涂层的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114411093A
申请号 ：
CN202111590494.X
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2021-12-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吴正涛叶榕礼王启民李海庆
申请人 ：
广东工业大学
申请人地址 ：
广东省广州市东风东路729号
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
郝传鑫
优先权 ：
CN202111590494.X
主分类号 ：
C23C14/06
IPC分类号 ：
C23C14/06 C23C14/54 C23C14/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/06
申请日 : 20211223
申请日 : 20211223
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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