本发明提供一种工业设备数据的处理方法、装置及设备，所述方法包括：获取工业设备数据集的相似数据集簇，所述相似数据集簇中包含多个目标数据集；根据预设领域模型，获取所述工业设备数据集之间的关系图；根据所述关系图，确定所述相似数据集簇中每个目标数据集的依赖路径；根据所述数据集的依赖路径，获取所述相似数据集簇中的目标数据集间的相似度；根据所述相似度，确定至少两个目标数据集是否为重复数据集。本发明提供的方案通过数据集依赖路径获得数据集间的相似度，并依据相似度判断目标数据集是否为重复数据集，提高了数据集簇中重复数据查询的精度，同时降低了查询的难度。