一种便于调节助剂浓度的超净高纯化工助剂生产工艺
实质审查的生效
摘要

本申请涉及超纯化学品制备技术领域,具体公开了一种便于调节助剂浓度的超净高纯化工助剂的生产工艺。该超净高纯化工助剂生产工艺,依次包括以下步骤:一次过滤、一次精馏、除杂、二次过滤、二次精馏、分装及浓度调节。其中除杂步骤中利用离子交换膜两侧的一次精馏液和络合溶液的离子浓度差,使得一次精馏液中的金属离子迁移至络合溶液中并形成金属离子络合物,由于金属离子络合物的粒径较大,因此形成的金属离子络合物被阻隔在络合溶液一侧,从而可以有效减少制得成品助剂中的金属离子含量。本申请制备的盐酸助剂金属离子含量综合可以控制在0.05~0.08%,达到国家制定的SEMI‑C12标准。

基本信息
专利标题 :
一种便于调节助剂浓度的超净高纯化工助剂生产工艺
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114314512A
申请号 :
CN202111596223.5
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王振兴曹晨珑金晓兰
申请人 :
昆山市年沙助剂有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市千灯镇曼氏路98号
代理机构 :
北京维正专利代理有限公司
代理人 :
李鑫伟
优先权 :
CN202111596223.5
主分类号 :
C01B7/07
IPC分类号 :
C01B7/07  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B7/00
卤素;氢卤酸
C01B7/01
氯;氯化氢
C01B7/07
提纯
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C01B 7/07
申请日 : 20211224
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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