本发明提供一种机台的故障确定方法、装置、设备和计算机可读存储介质，该方法包括：获取权重向量、各个晶圆对应的晶圆向量以及图案真实值；在各台机台中确定目标机台；获取每台目标机台对晶圆叠加异常的图案所对应的期望值以及方差值，并根据各个图案真实值、晶圆向量、权重向量、每台目标机台对应的期望值以及方差值确定优化值；在优化值满足设定条件时，根据每台目标机台对应的期望值以及权重向量确定每台目标机台对应的贡献值；在各个贡献值中确定各个目标贡献值，并将每个目标贡献值对应的目标机台确定为故障机台。本发明中，通过装置对晶圆的图案进行缺陷分析以确定出现故障的机台，无需人工辨识晶圆的缺陷，提高了机台的故障确定精度。