本发明涉及一种阻抗检测方法、阻抗检测器及系统，所述阻抗检测方法中，通过获取待检测电路的电信号数据；对电信号数据进行校正处理，得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据；根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据，得到负载阻抗数据，从而实现对待检测电路的阻抗检测。通过对阻抗处理算法的改进，提高了计算精度，降低了计算量，进而提高了计算效率，同时无需采用传统的成高且体积大的硬件电路，进而能够缩小阻抗检测器的体积，在适用于射频电源应用场合的同时，能更方便的携带测量。