本发明提供了一种定深槽高速光模块产品加工方法及其加工装置，其方法新颖，包括设计各步骤的切割深度‑定深切削、预留介层‑清理碎屑‑激光切割、清除介层；采用粗切及精切结合的方式进行切割，有效的提高切割加工质量；而加工装置包括依次设置的第一机械手、锣板机、第二机械手、清洁装置、第三机械手、激光机，通过第一机械手、第二机械手、第三机械手，完成工件的上料、转移及下料，锣板机对工件进行定深切削；清洁装置对工件的切削部位进行清洁；激光机对工件的预留介层进行激光切割清除，露出目标层；整体结构的设计与配合，可实现加工的自动及连续性，有效提高工作效率及产品加工质量。