基于环保绝缘气体的芯片静电防护装置
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种基于环保绝缘气体的芯片静电防护装置，包括密封的气体腔体，气体腔体内安装有气体浓度传感器，气体腔体上端的相对两侧分别设有进气口和出气口。本发明通过充入环保型绝缘气体(C5F10O，C4F7N‑CO2混合气体等)，对芯片进行绝缘防护。
基本信息
专利标题 ：
基于环保绝缘气体的芯片静电防护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114512450A
申请号 ：
CN202111626072.3
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张嘉伟张泽磊刘朝辉王倩秦司晨
申请人 ：
西安理工大学
申请人地址 ：
陕西省西安市碑林区金花南路5号
代理机构 ：
西安弘理专利事务所
代理人 ：
许志蛟
优先权 ：
CN202111626072.3
主分类号 ：
H01L23/20
IPC分类号 ：
H01L23/20 H01L23/60
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L23/00
半导体或其他固态器件的零部件
H01L23/16
容器中的填充料或辅助构件，例如定心环
H01L23/18
按材料，它的物理或化学性能，或者在其完整器件内以它的配置为特点进行区分的填充料
H01L23/20
在该器件的常态工作温度下为气态
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 23/20
申请日 : 20211228
申请日 : 20211228
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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