温湿度传感器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本申请公开了一种温湿度传感器及其制备方法。该温湿度传感器包括衬底及绝缘层，所述绝缘层形成于所述衬底上，所述绝缘层具有远离所述衬底的第一表面；所述第一表面设置有温度传感器和湿度传感器；绝缘隔离件，所述绝缘隔离件设置于所述绝缘层的第一表面，且所述绝缘隔离件位于所述温度传感器与所述湿度传感器之间。该温湿度传感器的集成度较高，且可以达到较高的检测精度和较快的检测速度。
基本信息
专利标题 ：
温湿度传感器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114427883A
申请号 ：
CN202111628925.7
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王超李向光田峻瑜庞丹
申请人 ：
荣成歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省威海市荣成市兴业路1号
代理机构 ：
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
田露
优先权 ：
CN202111628925.7
主分类号 ：
G01D21/02
IPC分类号 ：
G01D21/02 G01D11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D21/00
未列入其他类目的测量或测试
G01D21/02
用不包括在其他单个小类中的装置来测量两个或更多个变量
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01D 21/02
申请日 : 20211228
申请日 : 20211228
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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