一种复合集流体的制备设备和制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种复合集流体的制备设备和制备方法，所述复合集流体的制备设备，包括真空蒸镀设备，在所述真空蒸镀设备的后方设置有水镀设备，所述真空蒸镀设备包括真空腔体，所述真空腔体内部设置有第一蒸镀架和第二蒸镀架，基材经过所述第一蒸镀架和第二蒸镀架进行真空蒸镀后，再进入所述水镀设备进行水电镀，得到复合集流体。其可以解决现有镀膜空间利用率低和镀膜效率低的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种复合集流体的制备设备和制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114481033A
申请号 ：
CN202111629075.2
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
贾孟
申请人 ：
昆山鑫美源电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市淀山湖镇万园路66号A09栋402室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202111629075.2
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C25D19/00 C25D7/06 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/24
申请日 : 20211230
申请日 : 20211230
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
