一种光学检测装置及信噪比估算方法、缺陷检测方法
实质审查的生效
摘要

本申请涉及一种光学检测装置及信噪比估算方法、缺陷检测方法,其中光学检测装置包括转台、光源、探测器和处理器,处理器根据转台的转速信号适配噪声干扰的评估模型,根据探测器的电信号和/或探测参数确定评估模型的输入参数,将输入参数输入评估模型以计算得到信噪比,以及根据信噪比判断待检测物体的表面被检测光照射的区域是否存在缺陷。技术方案建立了与待检测物体的转速适配的噪声干扰评估模型,则结合获取的输入参数就容易计算得到光学检测装置的信噪比,不仅能够提升不同转速或检测模式下的信噪比计算效率,还能够得到信噪比与信号采集条件之间的关系,从而提高信噪比计算的准确性,进而利于提高光学检测的准确性。

基本信息
专利标题 :
一种光学检测装置及信噪比估算方法、缺陷检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114354651A
申请号 :
CN202111629210.3
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈鲁方一黄有为张嵩
申请人 :
深圳中科飞测科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
代理机构 :
深圳鼎合诚知识产权代理有限公司
代理人 :
冀孟恩
优先权 :
CN202111629210.3
主分类号 :
G01N21/956
IPC分类号 :
G01N21/956  G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
G01N21/956
检测物品表面上的图案
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/956
申请日 : 20211228
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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