粉尘收集装置及抽真空系统
公开
摘要
本发明提供一种粉尘收集装置及抽真空系统,该粉尘收集装置包括粉尘收集罐体,其上端具有能够装配在冗余管道上并与冗余管道相连通的开口,其下端未封闭或未完全封闭;阻流板,为拱起结构,设置在粉尘收集罐体的内部,阻流板的边缘与粉尘收集罐体的内壁之间留有间隙;过滤器,位于阻流板的下方设置在粉尘收集罐体的内部,过滤器将粉尘收集罐体分隔为粉尘处理室和粉尘收集室,粉尘处理室和粉尘收集室分别位于过滤器的上下方;舱盖,可拆卸连接在粉尘收集罐体的下端。本发明能够防止真空泵机的回抽造成失效风险,确保机台的正常运行,具有粉尘清理方便、清理效率高、清理难度低、清理成本低的优点,不会造成环境污染,避免了对洁净室的洁净度的影响。
基本信息
专利标题 :
粉尘收集装置及抽真空系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114288793A
申请号 :
CN202111629450.3
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2021-12-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨立华缪敏敏李炯
申请人 :
上海华力微电子有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
周耀君
优先权 :
CN202111629450.3
主分类号 :
B01D50/20
IPC分类号 :
B01D50/20
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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