一种旋转式晶圆交互系统
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种旋转式晶圆交互系统，包括托盘组件和至少一个晶圆交互装置；所述托盘组件包括旋转轴和至少两个用于承接晶圆的托盘，托盘与旋转轴连接并可跟随旋转轴转动以在不同工位轮转；所述晶圆交互装置围绕所述旋转轴布置并位于所述托盘的正下方，所述晶圆交互装置包括托架和升降机构，所述托架与所述升降机构连接以实现升降。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转式晶圆交互系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114473847A
申请号 ：
CN202111633899.7
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吴兴许振杰其他发明人请求不公开姓名
申请人 ：
华海清科股份有限公司
申请人地址 ：
天津市津南区咸水沽海河科技园聚兴道11号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202111633899.7
主分类号 ：
B24B37/10
IPC分类号 ：
B24B37/10 B24B37/30 B24B37/34 B24B27/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/10
用于单侧研磨
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/10
申请日 : 20211229
申请日 : 20211229
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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