一种任务调度方法和半导体工艺设备
实质审查的生效
摘要
本发明实施例提供了一种任务调度方法，该方法包括：获取所有待启动任务的任务数据；任务数据包括待启动任务对应的所有工序对应的工序号、加工时长、加工位置以及加工位置停滞时长；将每个待启动任务的任务数据均输入至任务调度模型，输出每个待启动任务的启动时刻；任务调度模型以执行所有待启动任务所需总时长最短为目标函数，任务调度模型的约束条件与任务数据相关联；根据每个待启动任务的启动时刻，对待启动任务进行任务调度。根据本发明的实施例，可以提升任务完成的效率，进而提升设备产能。
基本信息
专利标题 ：
一种任务调度方法和半导体工艺设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114462781A
申请号 ：
CN202111636432.8
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨光
申请人 ：
西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区锦业一路11号国家服务外包示范基地D座4层
代理机构 ：
北京润泽恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
苏培华
优先权 ：
CN202111636432.8
主分类号 ：
G06Q10/06
IPC分类号 ：
G06Q10/06 G06Q50/04 H01L21/67
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06Q
专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10/00
行政；管理
G06Q10/06
资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06Q 10/06
申请日 : 20211228
申请日 : 20211228
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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