本申请提供了一种数据对比方法、装置设备及存储介质，其中，该数据对比方法包括：响应对半导体设备集中第一半导体设备的选择操作，针对半导体设备集中的每一个第二半导体设备，将第一半导体设备的第一Recipe与第二半导体设备的第二Recipe进行比较，得到用于表示第一Recipe和第二Recipe相同或者不相同的比较结果；将第一半导体设备的标识信息、各第二半导体设备的标识信息以及第一Recipe与各第二Recipe的比较结果在图形用户界面上的第一页面中进行显示；通过上述数据对比方法，有利于降低人工的工作量，从而有利于提升用户的体验。