基座接地检测装置和方法
实质审查的生效
摘要

本申请涉及基座接地检测装置和方法。通过电压信号采集单元采集基座的电压信号,由电压检测单元根据所述电压信号和预设电压信号以确定是否将指示基座接地的第一信号作为输出信号,在执行工艺时,控制单元一旦接收到该第一信号则立即指示半导体设备停止执行工艺并发出报警信号,从而可及时发现基座与腔室壁或内衬短接等导致的接地情况,避免发生晶圆被电流击穿进而严重影响晶圆的电学性能、影响产品质量的事故。

基本信息
专利标题 :
基座接地检测装置和方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114355244A
申请号 :
CN202111646800.7
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吴启东
申请人 :
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 :
北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 :
北京思创毕升专利事务所
代理人 :
孙向民
优先权 :
CN202111646800.7
主分类号 :
G01R31/52
IPC分类号 :
G01R31/52  G01R1/04  C23C14/35  C23C14/50  C23C14/54  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/52
测试短路、泄漏电流或接地故障
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/52
申请日 : 20211229
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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