一种长行程准零刚度柔性导向机构
公开
摘要
本发明提出了一种长行程准零刚度柔性导向机构,属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、第一正刚度簧片组件、第二正刚度簧片组件、负刚度簧片组件和直线电机驱动模块,直接驱动部件左右两侧分别通过两个第一正刚度簧片组件与两个间接驱动部件相连,两个间接驱动部件前后两侧分别通过两个第二正刚度簧片组件与两个固定组件相连,第一正刚度簧片组件和第二正刚度簧片组件结构相同,直接驱动部件左右两侧均与负刚度簧片组件一端相连,两个负刚度簧片组件的另一端均连接有负刚度簧片固定组件,直线电机驱动模块与直接驱动部件相连。
基本信息
专利标题 :
一种长行程准零刚度柔性导向机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114296323A
申请号 :
CN202111651845.3
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吴剑威张银李一帆赵鹏越晏祯卓
申请人 :
哈尔滨工业大学
申请人地址 :
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202111651845.3
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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