本发明实施例公开一种超声换能器及其制作方法、以及超声换能系统。在发明的一具体实施方式中，超声换能器包括基板，包括贯穿基板的多个空腔通道；和设置在基板上的至少一个超声换能单元，每个超声换能单元包括：设置在基板远离感测目标一侧的至少一个超声发射单元以及设置在基板靠近感测目标一侧的多个超声接收单元，每个超声换能单元包括至少两个空腔通道，相邻的空腔通道的长度不同，以使每个超声换能单元中的超声发射单元发射的超声波经空腔通道至预定感测区域。该实施方式通过设置贯穿基板的多个空腔通道，并使得每个超声换能单元中相邻的空腔通道长度不同，从而使得声束聚焦偏转或聚焦至预定感测区域。