本发明公开一种内部气氛含量测试装置及测试方法，内部气氛含量测试装置包括真空腔室、质谱仪以及电离源，真空腔室作为气体电离的腔体，气体进样装置向真空腔室的测试腔内输入待检测气体，设于测试腔内的电离源将待检测气体电离形成离子束，离子束在电离源的驱动下进入质谱仪以检测分析气体成分和含量。测试方法是用于该内部气氛含量测试装置的测试方法。使用该内部气氛含量测试装置对小腔体气密封器件的进行部气氛测试，可以在测试腔内营造高真空环境对微量气体进行气体成分及含量的测试，气体在测试腔内直接扩散而不存在流导差异，即不存在传统内部气氛检测仪的毛细管质量歧视效应，提高了对小腔体气密封器件进行内部气氛测试时的测试准确度。