本发明属于晶片加工废水处理技术领域，公开了一种碲锌镉加工废水综合回收处理方法。所述方法包括将内圆锯、倒角产生的含碲锌镉颗粒的废水调节pH后进行絮凝处理，再通过絮凝沉淀池沉淀，沉淀相进行污泥处理后，废水回流，固相碲锌镉微粒进行集中分离与提纯处理；将切片、抛光、多晶清洗、单晶清洗和清洗产生的废水在反应沉淀池中通入酸性溶液和氧化物进行反应处理，经沉淀反应后废水回流，沉淀相磨料进行回收再利用；将絮凝沉淀池处理后的废水和反应沉淀池处理后的废水调节pH至中性后流入清水池，然后经RO处理系统，处理后的淡水收集后供给生产用水。本发明处理方法可同时实现碲锌镉加工过程中多种废水的综合分离回收处理。