本发明公开了一种微波无极紫外光源，系统及应用，属于紫外杀菌技术领域。该紫外光源通过向石英灯管装填惰性气体以及Zn和/或Zn的化合物，利用微波装置激发石英灯管中的惰性气体产生等离子体。继而，Zn和/或Zn的化合物升温蒸发，Zn原子与电子或处于激发态的惰性气体原子碰撞，从基态跃迁到激发态，进而在返回基态时辐射出波长为213nm的紫外光。与现有技术相比，本发明提供的紫外光源用Zn和/或Zn的化合物取代了汞作为发光物质，原材料更加清洁，并且用微波激励取代了金属电极，避免了因电极消耗导致光源寿命变短的问题。除此之外，该紫外光源的主波长为213nm，在有效地杀灭细菌的同时，不会损害到人体的皮肤和角膜细胞，应用范围更加广泛。