一种薄膜生产线和薄膜生产方法
实质审查的生效
摘要
本发明实施例提供一种薄膜生产线和薄膜生产方法，包括多个薄膜生产装置，所述薄膜生产装置包括：依次设置的粘合腔室、镀膜腔室和剥离腔室，其中，通过粘合腔室对待生产的薄膜进行放卷并粘合，镀膜腔室对粘合后的薄膜进行蒸镀，剥离腔室对所述蒸镀后的薄膜进行剥离并收卷。本发明实施例无需打开真空室进行绕卷，避免了镀膜腔室中的内部长时间暴露在大气环境中，且可以同时生产两卷薄膜，不仅提高薄膜生产质量，还提高了生产效率，另外，生产薄膜的过程中使用的辊子较少，大大的降低了薄膜生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种薄膜生产线和薄膜生产方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114381695A
申请号 ：
CN202111671743.8
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
臧世伟
申请人 ：
重庆金美新材料科技有限公司
申请人地址 ：
重庆市綦江区古南街道桥河工业园区金福二路12号
代理机构 ：
北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
沈煜华
优先权 ：
CN202111671743.8
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/24
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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