提升照明均匀性的装置
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种提升照明均匀性的装置,该装置包括:提升照明均匀性的装置,其特征在于,装置包括:依此设置在光源输出的光束的传输路径上的光束处理单元和斑纹衰减单元;其中,光束处理单元用于将光束的光学参数调整为预设值并发射至斑纹衰减单元;斑纹衰减单元包括旋转盘,设置在旋转盘表面上的多个反射微结构,多个反射微结构在旋转盘上呈环形排布或螺旋状排布,各反射微结构包括反射面,反射微结构的反射面面对光束处理单元,任意两个反射微结构的反射面距离旋转盘的基准面的距离不相同。上述装置实对激光相干性所导致的斑纹图案具有很好的抑制效果。
基本信息
专利标题 :
提升照明均匀性的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114415388A
申请号 :
CN202111675894.0
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李慧吴晓斌沙鹏飞马翔宇谢婉露罗艳王魁波韩晓泉马赫谭芳蕊
申请人 :
中国科学院微电子研究所
申请人地址 :
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 :
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 :
付婧
优先权 :
CN202111675894.0
主分类号 :
G02B27/48
IPC分类号 :
G02B27/48
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B27/00
不能分入G02B 1/00-G02B 26/00,G02B 30/00的其它光学系统或其它光学仪器
G02B27/48
激光斑纹光学
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 27/48
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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