一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置,涉及表面干燥技术领域,包括进气分气板和喷头主体,进气分气板表面设置有卡套接头喷头主体底部固定安装有出气调节挡板,喷头主体的表面固定安装有抽气匀气板,进气分气板的分气流道与出气口垂直分布,进气分气板与喷头主体之间形成2n分气结构,抽气匀气板与喷头主体之间形成2n分气结构,具备了通过设置喷头进气分气结构,从总入口到喷头出口每根流道的阻力相同,可以保证出口速度均匀性,并设置匀气流场每根流道均通过2n结构,于水平方向分布流道,极大减少设备垂直方向浪费的空间,从而实现在较长截面的空间保证气体流速均匀性,提高设备镀膜质量的效果。

基本信息
专利标题 :
一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114353497A
申请号 :
CN202111676506.0
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
胡宇航张灯皇范鹏
申请人 :
昆山晟成光电科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市巴城镇迎宾西路1601号C2栋
代理机构 :
广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
姜洪颖
优先权 :
CN202111676506.0
主分类号 :
F26B21/00
IPC分类号 :
F26B21/00  F26B21/06  C23C14/58  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B21/00
干燥固体材料或制品用的空气或气体的供应或控制装置
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F26B 21/00
申请日 : 20211231
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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