一种卧式排气方法及卧式排气台
实质审查的生效
摘要
本申请涉及真空排气技术领域,尤其涉及一种卧式排气方法及卧式排气台,其中,卧式排气方法包括:S1,提供一个排气台,排气台具有真空室;S2,将行波管置于真空室内;S3,真空室封闭后,对行波管内部抽真空,对真空室抽真空,真空度达到第一设定值后,进行加热;S4,真空度达到第二设定值后,停止加热,并停止对真空室抽真空,然后进行冷却,真空室内的温度达到设定值后,打开真空室;S5,在行波管外表面安装磁钢,并对行波管通电,同时行波管内部抽真空。卧式排气台包括烘箱、内真空组件、外真空组件、支撑座。本申请提高了抽气排空的效率,缩减了老炼排气的时间。
基本信息
专利标题 :
一种卧式排气方法及卧式排气台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114483531A
申请号 :
CN202111679111.6
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
赵建东肖刘李延威张欣玲徐鹏陈之亮张毅张志强
申请人 :
山东微波电真空技术有限公司
申请人地址 :
山东省济南市历城区王舍人街道工业北路矿源路9号15号楼1楼101室
代理机构 :
济南千慧专利事务所(普通合伙企业)
代理人 :
孟令鲁
优先权 :
CN202111679111.6
主分类号 :
F04B37/14
IPC分类号 :
F04B37/14 F04B37/18 F04B41/06 F26B5/04 F26B25/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B37/00
专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵
F04B37/10
用于特殊用途
F04B37/14
获得高真空
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F04B 37/14
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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