本申请公开了一种载物平台的重复定位精度测量方法、载物平台的重复定位精度测量系统及存储介质，该方法包括：控制所述相机结构拍摄所述载物台位于指定的目标位置时所述玻片的第一图像，所述第一图像包括所述图案；控制所述载物台按照设定的运动参数进行至少一次的往返运动，控制所述相机结构拍摄所述载物台被移回到指定的目标位置时所述玻片的第二图像，得到至少一张所述第二图像，所述运动参数包括运动方向和运动距离；根据所述第一图像中的所述图案和至少一张所述第二图像中所述图案以及所述运动参数，确定所述载物平台的重复定位精度。该方法简单方便，无额外成本，能够避免外界误差的引入。