一种热压模具
公开
摘要

本发明公开了一种热压模具,包括:模压头;晶圆让位槽,开设于所述模压头的底面;透气通道,贯通设置于所述模压头的内部,所述透气通道的一端与所述晶圆让位槽连通,另一端延伸出所述模压头的外表面。本热压模具通过在模压头内部设置透气通道,使得晶圆让位槽能够与外界空气连通,保证晶圆让位槽内的气体能够排放出去,在整个生产过程中芯片的晶圆不会受到意外的压力而导致损坏,生产的芯片条带表面平整,芯片完好。

基本信息
专利标题 :
一种热压模具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114290687A
申请号 :
CN202111682260.8
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2021-12-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
何思博陈宗潮程治国曾浩
申请人 :
东信和平科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省珠海市南屏科技工业园屏工中路8号
代理机构 :
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 :
张龙哺
优先权 :
CN202111682260.8
主分类号 :
B29C65/18
IPC分类号 :
B29C65/18  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B29
塑料的加工;一般处于塑性状态物质的加工
B29C
塑料的成型连接;塑性状态材或料的成型,不包含在其他类目中的;已成型产品的后处理,例如修整
B29C65/00
预制部件的接合;所用的设备
B29C65/02
用有压力或无压力的加热
B29C65/18
使用加热的工具
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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