一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件，内挡圈的多个内支撑件沿外圈体圆周分布，并且沿径向滑动安装在外挡圈的第一骨架上，下托盘位于内外挡圈下方，从而满足多品种多批次片状零件的快速装夹，可以大范围适应不同规格的片状零件要求，模块化的设计同时最大化的满足单盘的装片量，同时提供快速散热通道，夹具内部大面积无障碍气流通道，散热效果显著，此外夹具在前期的使用以及后期的维护和管理更加易操作，可大大的降低生产制造费用。
基本信息
专利标题 ：
一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202120537708.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-03-15
授权号 ：
CN216445454U
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
王君
申请人 ：
宁波赉晟新材料科技有限责任公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市镇海区庄市街道光明路189号
代理机构 ：
合肥金律专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
段晓微
优先权 ：
CN202120537708.6
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-05-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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