一种定位缺陷的载物台及检测装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种定位缺陷的载物台及检测装置，定位缺陷的载物台包括基座，所述基座上固定平板，定义所述平板远离所述基座的一侧表面为上表面，所述上表面设置凹槽，所述凹槽的形状与待检测对象的形状相同，从而容置所述待检测对象；所述平板的表面设置若干相互垂直的横轴和纵轴，组成坐标网格，通过所述坐标网格对所述待检测的对象的缺陷进行定位。包含所述定位缺陷的载物台的检测装置，可以快速实现对碳化硅晶片中缺陷的识别和定位，还可以根据机器检测的结果，进行目标坐标区域的快速缺陷定位，极大提高了检测的效率。
基本信息
专利标题 ：
一种定位缺陷的载物台及检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202120819712.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-04-21
授权号 ：
CN216669766U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
阙金镇冯淦赵建辉
申请人 ：
瀚天天成电子科技（厦门）有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区翔星路96号建业楼B座一层
代理机构 ：
厦门市精诚新创知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘小勤
优先权 ：
CN202120819712.1
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88 G01N21/01 G02B21/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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