用于预制体增密的装炉结构
授权
摘要
本申请涉及碳碳复合材料化学气相渗积技术领域,公开了一种用于预制体增密的装炉结构,所述装炉结构包括至少两组待增密预制体组件,至少两组所述待增密预制体组件沿重力方向相互对扣形成至少一个结构单元,每个所述结构单元中两组所述待增密预制体组件对应的所述限流通道相互连通,在所述炉腔内分别形成连通所述炉腔入口、所述限流通道和所述炉腔出口的至少一条限流路径。碳源气体经过上述限流通道,能够一次同时沉积多个待增密预制体,并且在待增密预制体容易发生损坏的位置都能进行沉积;通过限流路径引导,减小气体流动范围,确保碳源气体在要求区域内流动,以此缩短气体滞留时间,进而提高碳源利用率,实现预制体的快速沉积。
基本信息
专利标题 :
用于预制体增密的装炉结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202120955130.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-05-06
授权号 :
CN216155960U
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
姚宏李梦飞段滨赵领航高攀红杜路路黄志鹏成路豆菲菲
申请人 :
隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市长安区航天中路388号
代理机构 :
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
郭栋梁
优先权 :
CN202120955130.6
主分类号 :
C23C16/26
IPC分类号 :
C23C16/26 C23C16/54 C04B35/83 C04B35/84
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
法律状态
2022-04-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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