一种烘干设备及其烘箱
授权
摘要
本实用新型公开一种烘干设备及其烘箱，涉及硅片制造技术领域，以解决现硅片烘干工序中，由于风速不均匀导致硅片出现湿片、烘干时间长以及烘干能耗高的问题。所述烘箱用于烘干硅片，硅片沿第一方向设置于烘箱内；烘箱包括：箱体；硅片通过承插在限位件并容置于箱体内；箱体上设有第一进风口和出风口；第一进风口沿第一方向延伸；烘箱在使用状态下，通过第一进风口至少向限位件承插硅片的位置输送烘干介质。所述烘干设备包括上述技术方案所提的烘箱。
基本信息
专利标题 ：
一种烘干设备及其烘箱
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202120976648.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-04-30
授权号 ：
CN216159483U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
薛通成路迪大明鲁战锋张珊任新刚
申请人 ：
隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市长安区航天中路388号
代理机构 ：
北京知迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
王胜利
优先权 ：
CN202120976648.8
主分类号 ：
F26B9/06
IPC分类号 ：
F26B9/06 F26B21/00 F26B25/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B9/00
静态下或只是局部摇动干燥固体材料或制品的机器或设备；家用晾晒柜
F26B9/06
在固定的筒或室内
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
