用于化学渡槽的摇摆装置
授权
摘要
本实用新型涉及摇摆装置领域，尤其是用于化学渡槽的摇摆装置。该摇摆装置包括放置架、导向机构、基座、转杆、转杆旋转机构、转盘和偏心轮，所述基座通过导向机构与放置架滑配连接在一起，转杆转动连接在基座底部，转杆旋转机构连接在基座和转杆之间，两个转盘分别固定在转杆两端，转盘上设有用于顶起导向机构的偏心轮。本实用新型通过转杆旋转机构来驱使转杆旋转。通过转杆来驱使两个带有偏心轮的转盘旋转。通过偏心轮来带动导向机构上下移动，进而带动装载有化学镀槽的放置架进行上下移动。本申请结构简单，节约了成本。
基本信息
专利标题 ：
用于化学渡槽的摇摆装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121541198.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-07-07
授权号 ：
CN216427411U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
王健陈云利李军朱洋洋刘斌
申请人 ：
苏州尊恒半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇南淞路303号2号房
代理机构 ：
苏州拓源科佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵艾亮
优先权 ：
CN202121541198.6
主分类号 ：
C23C18/00
IPC分类号 ：
C23C18/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18/00
通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆；接触镀
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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