一种硅片生产用具有调节结构的酸洗装置
授权
摘要

本实用新型涉及酸洗设备技术领域,具体为一种硅片生产用具有调节结构的酸洗装置,包括工作架、废液池、酸洗架和调控架,所述调控架的一侧开设有滑动槽,所述滑动槽的内部活动连接有活动杆,所述活动杆的一端固定连接有第一连接块,所述第一连接块的表面开设有卡槽。通过设置的酸洗板、活动杆和振动机可以实现对半导体单晶硅片进行更加快速高效的酸洗操作,在使用时工作人员首先将配置好的稀硝酸溶液倒入至酸洗架内,然后再将需要进行酸洗操作的半导体单晶硅片均匀的摆放在酸洗板之上,此时工作人员可以通过活动杆带动整体酸洗板向下滑动,使得半导体单晶硅片进入酸洗架内的稀硝酸溶液进行酸洗操作。

基本信息
专利标题 :
一种硅片生产用具有调节结构的酸洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121563423.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-07-10
授权号 :
CN216420415U
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
闵高张绍太
申请人 :
苏州金裕阳光伏科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市玉山镇震川西路111号1415室
代理机构 :
深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
雒盛林
优先权 :
CN202121563423.6
主分类号 :
B08B3/08
IPC分类号 :
B08B3/08  B08B3/10  B08B13/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2022-05-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332