一种砂浆循环水冷装置
授权
摘要
本实用新型涉及晶片制造设备技术领域，公开了一种砂浆循环水冷装置，包括第一砂浆罐体、第二砂浆罐体和第三砂浆罐体，第一砂浆罐体设有内腔，第一砂浆罐体与第二砂浆罐体之间形成流水腔，第二砂浆罐体与第三砂浆罐体之间形成砂浆流动腔；第三砂浆罐体的顶部设有砂浆线切机进液管、砂浆循环进液管和冷却水出液管；第三砂浆罐体的底部设有砂浆线切机出液管、砂浆循环出液管和冷却水进液管；冷却水出液管与冷却水进液管之间有第一循环机构，砂浆循环出液管与砂浆循环进液管之间有第二循环机构。本实用新型能有效解决现有砂浆冷却装置的散热面积小，散热效果差的问题，实现砂浆快速冷却，有利于降低砂浆再次进行喷淋时的温度，提高晶片的切割质量。
基本信息
专利标题 ：
一种砂浆循环水冷装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121735682.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-07-28
授权号 ：
CN216152753U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
彭杰周一毕洪伟
申请人 ：
威科赛乐微电子股份有限公司
申请人地址 ：
重庆市万州区万州经开区高峰园檬子中路2号
代理机构 ：
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄宗波
优先权 ：
CN202121735682.2
主分类号 ：
B28D5/04
IPC分类号 ：
B28D5/04 B28D7/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的，例如往复式工具
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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