一种硅电极清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅电极清洗装置，针对硅电极清洗时产生有毒气体对生产人员健康产生影响的问题，提供了以下技术方案，一种硅电极清洗装置，包括机架和用于放置硅电极的清洗架，机架设置密封的外壳，外壳在进料口和出料口设置自动开启和关闭的密封门，外壳内部设置用于清洗工件的清洗槽，外壳内部设置用于自动移动清洗架的移动组件，移动组件连接用于自动抓取清洗架的抓取组件。通过在出料口和进料口设置自动开启或关闭的密封门，能够在送料时开启密封门，在进行清洗时关闭密封门；设置自动抓取清洗架的抓取组件和自动移动抓取组件的移动组件，能够在装置处于密封状态时，自动移动放置有工件的清洗架。
基本信息
专利标题 ：
一种硅电极清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121787891.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-02
授权号 ：
CN216150536U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
赵顺
申请人 ：
江苏宏芯时代半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市泰兴市黄桥镇溪桥南殷村八组
代理机构 ：
江苏智天知识产权代理有限公司
代理人 ：
何源
优先权 ：
CN202121787891.1
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/02 B08B3/08 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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