清洗药剂自动补加装置
授权
摘要
本实用新型公开了清洗药剂自动补加装置，属于单晶硅片清洗技术领域，包括配药箱、第一总管、第二总管、计量箱、控制系统和若干个药剂注入管，第一总管和第二总管分别与配药箱连接，计量箱与配药箱连接，药剂注入管一端与计量箱连接、另一端与清洗槽连接，本实用性能够有效的控制单晶硅片清洗过程中药剂的添加，保证添加量和添加的时间节点符合要求，减少因提前和推迟添加药剂，多加或少加药剂带来的质量问题，提高了工作效率，减少了药剂损耗，保证生产质量。
基本信息
专利标题 ：
清洗药剂自动补加装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121912149.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-16
授权号 ：
CN216262360U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
杨超王艺澄吴纪清
申请人 ：
江苏美科太阳能科技股份有限公司;包头美科硅能源有限公司
申请人地址 ：
江苏省镇江市扬中经济开发区光明路198号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
马严龙
优先权 ：
CN202121912149.9
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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