一种磁控靶的动密封结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种磁控靶的动密封结构,其技术方案的要点是包括有水套,在水套的外壁分别设有进水口和出水口,在所述水套内分别设有水管、与水管对接的水管头,在水管头的侧壁设有与所述进水口连通的进水孔,进水孔与水管头的内腔连通,水管头的内腔又与水管的内腔连通,所述水管置于靶座的内腔,在靶座与水管之间具有间隙,所述间隙与所述出水口连通,在靶座与水套之间设有防止水向外渗漏的骨架油封。本实用新型的骨架油封结构可减少旋转过程中的磨损和腐蚀,减少密封圈的拆装更换次数,减少维护保养次数,节约成本。
基本信息
专利标题 :
一种磁控靶的动密封结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121935054.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-08-17
授权号 :
CN216201422U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
张健宁胡双丽田耕涛黄志云
申请人 :
中山凯旋真空科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省中山市横栏镇环镇北路27号
代理机构 :
中山佳思智诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
谢自知
优先权 :
CN202121935054.9
主分类号 :
F16L27/08
IPC分类号 :
F16L27/08 F16J15/16 F16J15/32 F16J15/3252 F16J15/3268 C23C14/35
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L27/00
可调连接;允许移动的连接
F16L27/08
仅在1个管子的轴线上允许调节或移动
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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