一种吸料装置及单晶炉吸料设备
授权
摘要
本实用新型公开一种吸料装置及单晶炉吸料设备,涉及晶棒制造技术领域,以解决单晶炉内存在杂质问题。吸料装置包括容置组件,其具有密闭的容纳腔;吸管组件,连接于容置组件,吸管组件具有相对的第一端部和第二端部,第一端部位于容纳腔内并与容纳腔连通,吸管组件的第二端部位于容纳腔外,吸管组件还具有连通第一端部与第二端部的吸取通道,吸取通道将容纳腔与容置组件外部相连通。由于单晶炉内的杂质硅料能够被吸料装置吸除,可继续加入新的硅料,实现单晶炉的可持续加料生产。单晶炉吸料设备包含该吸料装置,利用压差将硅料压入容纳腔中,移出单晶炉后继续拉晶工序。
基本信息
专利标题 :
一种吸料装置及单晶炉吸料设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121956026.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-08-19
授权号 :
CN216156010U
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
杜超邓浩李侨韩伟董升
申请人 :
隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市长安区航天中路388号
代理机构 :
北京知迪知识产权代理有限公司
代理人 :
王胜利
优先权 :
CN202121956026.5
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2022-04-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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