一种晶圆检测设备安装机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆检测设备安装机构，包括安装座、安装平台和底部支架，底部支架包括底板、第一侧板和第二侧板，第一侧板和第二侧板分别垂直于底板两侧，安装座设置于底部支架内，且安装座与底板之间安装多组减震油缸，安装平台安装于安装座上方，且安装平台两侧紧贴第一侧板、第二侧板上端面，本实用新型结构简单，整体减震效果好，有效的削弱晶圆设备工作过程中产生的震动，提高晶圆检测精度。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆检测设备安装机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122031445.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-26
授权号 ：
CN216160771U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
梅力胡冬云
申请人 ：
江苏卓玉智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市高新技术产业开发区杏园路288号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122031445.4
主分类号 ：
G01R31/28
IPC分类号 ：
G01R31/28 G01R1/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试，例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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