本实用新型提供了一种真空干燥设备，包括：腔室，设置有气体输入口；第一加热组件，设置于所述腔室内，被配置为对所述腔室内部进行加热以保持恒温；气体输送管路，设置于所述腔室内，被配置为对所述腔室内输送解除真空状态的气体；所述气体输送管路的入口端与所述气体输入口相连，出口端延伸至所述腔室内远离所述气体输入口的位置。本实用新型使得气体在引入腔室的过程中，能够充分的与被加热至恒温的气体输送管路进行热交换而温度升高，进而在离开气体输送管路与腔室内蒸发出的溶剂蒸汽相接触后，不会因为温差过大使溶剂蒸汽发生冷凝，以防止溶剂在腔室内壁附着后再滴落至柔性基板上的不良现象，能够有效的提高产品良率和设备的稼动率。