一种透明晶圆定位检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种透明晶圆定位检测装置，包括转动设置于基准工位处的载片装置，所述载片装置上联动设置有晶圆，所述晶圆的上方设置有能够反射检测光束的反光板，所述晶圆的下方的一侧设置有能够发射检测光束的发射器，所述晶圆能够折射处于所述发射器与所述反光板间的检测光束，且所述晶圆的外缘部具有一个供处于所述发射器与所述反光板间的检测光束通过的定位缺口，所述晶圆的下方的另一侧设置有能够接收未经晶圆折射的检测光束的接收器。该透明晶圆定位检测装置能够显著提高透明晶圆的定位检测精度，保证其检测结果准确可靠。
基本信息
专利标题 ：
一种透明晶圆定位检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122118831.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-02
授权号 ：
CN216246094U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
滕菲彭泰彦许开东
申请人 ：
江苏鲁汶仪器有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
李赫
优先权 ：
CN202122118831.7
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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