连续多通道检测MO源浓度的装置
授权
摘要
本实用新型的目的是提供一种连续多通道检测MO源浓度的装置，包括有至少四个源瓶，所有的源瓶共同通过进管路一连接有氮气缓冲罐；所有的源瓶通过测试阀共同连接有测试管路，测试管路末端连接有浓度测试仪，浓度测试仪连接有末端管路；所有的源瓶通过排出阀共同连接有旁通管路，旁通管路连接着缓冲罐；末端管路上连接有第一吸收罐和第二吸收罐，缓冲罐也连接在末端管路上；所有的源瓶与氮气缓冲罐之间还通过进管路二进行连接，进管路二连接有并联的流量计一和压力控制器。通过增加旁通管路与测试管路分开以达到连续测试的目的。
基本信息
专利标题 ：
连续多通道检测MO源浓度的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122178318.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-09
授权号 ：
CN216411188U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
郑锐彭真王宏波俞冬雷
申请人 ：
安徽亚格盛电子新材料有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市经济技术开发区赤铸山路26号
代理机构 ：
南京正联知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨静
优先权 ：
CN202122178318.7
主分类号 ：
G01N33/00
IPC分类号 ：
G01N33/00 G01G19/52 G01N35/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N33/00
利用不包括在G01N1/00至G01N31/00组中的特殊方法来研究或分析材料
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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