一种金属基MEMS万向惯性开关
授权
摘要
本实用新型公开的一种金属基MEMS万向惯性开关，属于惯性开关技术领域。本实用新型包括玻璃基底、敏感结构、固定电极结构及引线电极；所述固定结构包括上接触电极结构及下接触电极结构，所述引线电极为方形结构；所述玻璃基底为所述敏感结构、所述固定电极结构及所述引线电极的支撑层，所述金属基惯性开关结构采用非硅MEMS增材加工技术，在玻璃基底上加工而成；所述敏感结构包括三个间隔设置的敏感结构锚点，分别与上部可动敏感结构锚点和所述引线电极连接。本实用新型提供的金属基MEMS万向惯性开关，采用非硅MEMS增材加工技术制造，结构为全金属结构，具有在导通时接触电阻小，以及多次导通后接触电阻不增大等优势。
基本信息
专利标题 ：
一种金属基MEMS万向惯性开关
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122212618.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-14
授权号 ：
CN216250546U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
付博于天朋李瑞李建华武浩李慧娟韩世杰刘东葛志鹏陈红
申请人 ：
淮海工业集团有限公司
申请人地址 ：
山西省长治市惠丰街1号
代理机构 ：
北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
邬晓楠
优先权 ：
CN202122212618.2
主分类号 ：
H01H35/14
IPC分类号 ：
H01H35/14
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01H
电开关；继电器；选择器；紧急保护装置
H01H35/00
由物理状态的变化操作的开关
H01H35/14
由加速度的变化操作的开关，例如由冲击和振动操作的开关、惯性开关
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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