一种烘烤加热系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种烘烤加热系统，解决现有技术的不足之处，采用一台温控仪对一台功率调节控制器进行控制，一台功率调节控制器对多组加热器进行控制的方式，能够快速达到设定温度并进入恒温区，包括温控仪（1）、功率调节控制器（2）、热电偶（3）及真空室腔体（4），在所述真空室腔体（4）内设置有多组加热器（5），多组加热器（5）通过一个功率调节控制器（2）连接控制，所述温控仪（1）控制连接功率调节控制器（2）。
基本信息
专利标题 ：
一种烘烤加热系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122218544.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-14
授权号 ：
CN216155956U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
张勇军卢成王伟
申请人 ：
成都国泰真空设备有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号
代理机构 ：
成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
贾波
优先权 ：
CN202122218544.3
主分类号 ：
C23C14/54
IPC分类号 ：
C23C14/54 C23C14/56 C23C16/52 C23C16/54 C23C16/46 H01L21/67
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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