一种反应腔中反应气体输送控制装置
授权
摘要
本实用新型涉及等离子反应器技术领域,尤其为一种反应腔中反应气体输送控制装置,包括连接头,所述连接头的上表面中部固定连接有连接筒,所述连接筒的上端固定连接有连接管,所述连接头的中部开设有气体储存腔,所述气体储存腔的内部下表面等间距开设有出气槽,且每个所述出气槽的下端均开设有安装腔,所述连接管的内部安装有电磁阀,所述连接筒的内部设置有微型气泵,且所述微型气泵的输入端与连接管连通,所述微型气泵的输出端通过导管与气体储存腔内部连通,本实用新型结构设置合理,能够对气体的输出量进行计量以及控制,并且能够对输出的气体的速率进行有效的控制,从而确保反应的正常进行,避免气体输入的量过多或者过少。
基本信息
专利标题 :
一种反应腔中反应气体输送控制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122260828.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-17
授权号 :
CN216585201U
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
李冰妍
申请人 :
富时精工(南京)有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市江宁区苏源大道19号九龙湖国际企业总部园B5座二层(江宁开发区)
代理机构 :
滁州创科维知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
史芳
优先权 :
CN202122260828.9
主分类号 :
C23C16/455
IPC分类号 :
C23C16/455 C23C16/52
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2022-05-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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