原子力显微镜刀尖测量的显微对准装置、原子力显微镜
授权
摘要
本实用新型提供用于原子力显微镜刀尖测量的显微对准装置，包括：显微成像组件，位于原子力显微镜的测量探针上方或下方，用以获取测量探针的针尖与待测刀具的刀尖相对位置形成的成像部位的第一轮廓像；侧方成像组件，设置所述测量探针一侧，用以获取所述成像部位的第二轮廓像；根据第一轮廓像及第二轮廓像配合待测刀尖的位置调整，以使得所述针尖对准所述刀尖。本实用新型还提供一种原子力显微镜。采用显微成像组件、侧方成像组件同时工作，获取针尖与刀尖相对位置形成的成像部位的两个方位的轮廓像，以使得针尖与刀尖精准对准，且操作便捷，提高工作效率。
基本信息
专利标题 ：
原子力显微镜刀尖测量的显微对准装置、原子力显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122309292.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-23
授权号 ：
CN216285372U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
韩雄钱锋王矛宏
申请人 ：
苏州飞时曼精密仪器有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区科技城华佗路12号2号厂房4楼
代理机构 ：
北京远大卓悦知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨明霞
优先权 ：
CN202122309292.5
主分类号 ：
G01Q10/04
IPC分类号 ：
G01Q10/04 G01Q60/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q10/00
扫描或定位设备，即主动控制探针的运动或位置的设备
G01Q10/04
细扫描或定位
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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