本实用新型涉及洁净室领域，提供了一种洁净室低湿度空调系统。制冷系统包括依次串联的三级表面冷却器，前两级表面冷却器的前端分别串接有过滤器，最后一级表面冷却器的后端安装有加热器；所述除湿系统包括依次串联的两级转轮除湿机，两级转轮除湿机的除湿区分别串接在第一级表面冷却器与第二级表面冷却器之间以及第二级表面冷却器与第三级表面冷却器之间；所述第二级表面冷却器的输出端由三通连接再生支路，所述再生风机串接于再生支路，再生之路穿过两级转轮除湿机的再生区。本技术方案能够将洁净室内的湿度控制在较低的水平。