本实用新型涉及圆工艺制造领域，特别涉及一种晶圆机械往复式清洗装置。其包括支撑机构、角度调节机构、往复调节模组、用于对晶圆进行清洗的清洗头，支撑机构包括纵向支撑杆、横向支撑杆，纵向支撑杆一端固定连接、其另一端连接横向支撑杆，角度调节机构连接在横向支撑杆上，角度调节机构包括调节固定板，往复调节模组连接在调节固定板上，往复调节模组的末端连接清洗头，往复调节模组带动清洗头在对晶圆清洗过程中进行往复运动。本装置通过往复调节模组的机械往复运动，带动清洗头来回动作增加势能，能更好的清洗晶圆保证清洗的洁净度。并且可以根据晶圆所在的位置任意调节清洗头与晶圆之间的角度位置，达到最佳的清洗效果。