一种快速提高真空系统真空度的装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种快速提高真空系统真空度的装置,包括:高功率全固态激光器、二分之一波片、偏振分光棱镜、准直透镜、光学垃圾堆、第一反射镜、第二反射镜、聚焦透镜、真空系统、分子泵;所述的高功率全固态激光器输出的激光,依次通过二分之一波片和偏振分光棱镜;偏振分光棱镜的反射光束进入光学垃圾堆;偏振分光棱镜的透射光束再依次通过准直透镜、第一反射镜、第二反射镜和聚焦透镜,最后照射在真空系统的腔体内表面上;分子泵与真空系统使用波纹管相连。本实用新型可广泛应用于需要高真空度真空系统的实验中。
基本信息
专利标题 :
一种快速提高真空系统真空度的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122420443.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-08
授权号 :
CN216617932U
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
师振莲李子亮王鹏军张靖
申请人 :
山西大学
申请人地址 :
山西省太原市小店区坞城路92号
代理机构 :
山西五维专利事务所(有限公司)
代理人 :
张福增
优先权 :
CN202122420443.4
主分类号 :
F04D19/04
IPC分类号 :
F04D19/04 F04D29/00 G02B27/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空,例如分子泵
法律状态
2022-05-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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