一种网版区域加热装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种网版区域加热装置,包括承载台、第一温度加热块、第二温度加热块、温度调节器以及水冷降温装置,所述第一温度加热块水平设置在承载台的上方,所述第一温度加热块呈镂空结构,其中间位置开设有矩形通孔,所述第二温度加热块设置在第一温度加热块的矩形通孔内,且与第一温度加热块之间留有间隙,所述第二温度加热块还与水冷降温装置相连接,所述温度调节器与第一温度加热块和第二温度加热块相连接并位于第一温度加热块的一侧边。通过上述方式,本实用新型提供的网版区域加热装置,采用双温度加热块对网版感光胶的加热固化只需要进行一次加热即可完成,提高了制程作业的效率,且降低了成本。

基本信息
专利标题 :
一种网版区域加热装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122447292.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-12
授权号 :
CN216286159U
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
于洋王玉彬
申请人 :
沃苏特电子科技(苏州)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区唯亭葑亭大道502号
代理机构 :
苏州易朴知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
朱春红
优先权 :
CN202122447292.1
主分类号 :
G03F7/40
IPC分类号 :
G03F7/40  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/40
去除影像之后的处理,例如,烘干
法律状态
2022-04-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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